光氧廢氣處理設備工作原理，利用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照射廢氣，使有機或無機高分子惡臭化合物分子鏈在高能紫外線光束照射下與臭氧進行反應生成低分子化合物，如CO2、H2O等。而且投資費用低、適用范圍廣、凈化效率高、操作簡單、除臭效果好、設備運行穩定、占地小、運行費用低、隨用隨開、不會造成二次污染。